The optical path difference formed by replacing the cylindrical lens in common photolithography with
中文解释
透镜阵列光刻法用一个柱面阵列透镜代替常规光刻法中的柱面透镜形成光程差，将由衍射所引起的瞬变图形错开，消除由于光刻模板与被刻光栅之间因间隙引起的衍射误差。
透镜阵列光刻法用一个柱面阵列透镜代替常规光刻法中的柱面透镜形成光程差，将由衍射所引起的瞬变图形错开，消除由于光刻模板与被刻光栅之间因间隙引起的衍射误差。